发明名称 RECRYSTALLIZED FILM FOR HALL EFFECT ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02106080(A) 申请公布日期 1990.04.18
申请号 JP19880259904 申请日期 1988.10.14
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 IIDA AKIMITSU
分类号 H01L21/20;H01L21/324;H01L43/10 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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