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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02105541(A) 申请公布日期 1990.04.18
申请号 JP19880258518 申请日期 1988.10.14
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIUCHI HIROAKI
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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