| 发明名称 |
PROJECTION TYPE INSPECTING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02103450(A) |
申请公布日期 |
1990.04.16 |
| 申请号 |
JP19880255790 |
申请日期 |
1988.10.13 |
| 申请人 |
CASIO COMPUT CO LTD;ASAHI OPTICAL CO LTD |
发明人 |
SATO MAKOTO;YOSHIDA KAZUJI |
| 分类号 |
G01N21/84;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G02B27/18;G09F9/00 |
主分类号 |
G01N21/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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