PROCESS AND INSTALLATION FOR THE CHEMICAL DEPOSITION OF ULTRAHARD COATINGS AT MODERATE TEMPERATURE.

摘要

L'invention a pour objet un procédé d'obtention, par dépôt chimique à partir d'une phase gazeuse à température modérée, au plus égale à environ 850°C, de revêtements présentant une structure polynuclée à grains très fins qui leur confère une dureté améliorée, caractérisé en ce que l'on fait réagir en présence de l'hydrogène un mélange gazeux contenant des sous-halogénures d'un premier élément avec un ou plusieurs composés contenant au moins un deuxième élément en présence d'un ou plusieurs substrats à revêtir portés à une température au plus égale à 850°C, les conditions opératoires étant telles que la sursaturation à l'interface gaz-dépôt soit élevée et conduise au dépôt d'un revêtement qui présente une structure polynucléée à grains très fins.