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发明名称 CHEMICAL VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0298924(A) 申请公布日期 1990.04.11
申请号 JP19880251239 申请日期 1988.10.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FURUE KEIZABURO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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