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发明名称
TESTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0298676(A)
申请公布日期
1990.04.11
申请号
JP19880252601
申请日期
1988.10.05
申请人
NEC CORP
发明人
GOTO NAOMICHI
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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