发明名称 TESTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0298676(A) 申请公布日期 1990.04.11
申请号 JP19880252601 申请日期 1988.10.05
申请人 NEC CORP 发明人 GOTO NAOMICHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址
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