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发明名称 MANUFACTURE OF PIEZOELECTRIC DEVICE DISPLACEMENT AMPLIFICATION MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH0294679(A) 申请公布日期 1990.04.05
申请号 JP19880247998 申请日期 1988.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 MOGAMI KATSUICHI;IDE MITSUTERU
分类号 H01L41/09 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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