VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG MITTELS EINER PLASMABEHANDLUNG.,申请号DE19853576241-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG MITTELS EINER PLASMABEHANDLUNG.
摘要
申请公布号	DE3576241(D1)	申请公布日期	1990.04.05
申请号	DE19853576241	申请日期	1985.10.03
申请人	N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL	发明人	GOURRIER, SERGE;THEETEN, JEAN-BERNARD, F-75007 PARIS, FR
分类号	H01L21/318;H01L21/324;H01L21/338;H01L29/51;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/318;C23C16/34;H01L29/62	主分类号	H01L21/318
代理机构		代理人
主权项
地址