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发明名称 APPLYING METHOD OF RESIST LIQUID
摘要
申请公布号 JPH0294517(A) 申请公布日期 1990.04.05
申请号 JP19880246148 申请日期 1988.09.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 HIRASAWA MASAKATSU
分类号 B05C11/08;B05D1/00;B05D3/00;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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