发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM OF OXIDE SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0292808(A) 申请公布日期 1990.04.03
申请号 JP19880246802 申请日期 1988.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TERAJIMA YOSHIAKI;SUNAI MASAYUKI;KUBO KOICHI;MIURA TADAO
分类号 H01L39/24;C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C04B41/87;C23C14/34;H01B13/00 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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