发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM OF OXIDE SUPERCONDUCTOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0292808(A) |
申请公布日期 |
1990.04.03 |
申请号 |
JP19880246802 |
申请日期 |
1988.09.30 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TERAJIMA YOSHIAKI;SUNAI MASAYUKI;KUBO KOICHI;MIURA TADAO |
分类号 |
H01L39/24;C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C04B41/87;C23C14/34;H01B13/00 |
主分类号 |
H01L39/24 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|