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发明名称 Thermal/microwave remote plasma multiprocessing reactor and method of use
摘要
申请公布号 US4913929(A) 申请公布日期 1990.04.03
申请号 US19870040909 申请日期 1987.04.21
申请人 THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY 发明人 MOSLEHI, MEHRDAD M.;SARASWAT, KRISHNA C.
分类号 H01L21/31;C23C16/44;C23C16/48;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/285 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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