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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0290613(A) 申请公布日期 1990.03.30
申请号 JP19880243482 申请日期 1988.09.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUKUI AKIYOSHI;ITO HIROMI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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