发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0290516(A) 申请公布日期 1990.03.30
申请号 JP19880242783 申请日期 1988.09.27
申请人 NEC CORP 发明人 TAKANASHI MIKIO
分类号 H01L21/761;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/74;H01L21/76 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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