发明名称 ULTRASONIC CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0291922(A) 申请公布日期 1990.03.30
申请号 JP19880244778 申请日期 1988.09.29
申请人 TOSHIBA CORP;KURITA WATER IND LTD 发明人 MOTOMURA TAKAHITO;OTANI TAIICHI;MASHITA NORIYOSHI
分类号 B08B3/12;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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