发明名称
摘要
申请公布号 JPH0247035(U) 申请公布日期 1990.03.30
申请号 JP19880126127U 申请日期 1988.09.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/66 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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