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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0291933(A) 申请公布日期 1990.03.30
申请号 JP19880245327 申请日期 1988.09.29
申请人 NEC CORP 发明人 SUGIYAMA TOSHIAKI
分类号 H01L21/265;H01L21/285 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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