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发明名称
COMPOUND SEMICONDUCTOR ETCHANT
摘要
申请公布号
JPH0289316(A)
申请公布日期
1990.03.29
申请号
JP19880241660
申请日期
1988.09.27
申请人
NISHIKAWA HIRONOBU;DAIDO STEEL CO LTD
发明人
NISHIKAWA HIRONOBU;SOGA TETSUO;MIKURIYA NOBUO;JINBO TAKASHI;UNNO MASAYOSHI
分类号
H01L21/308;H01L21/66
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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