发明名称 |
DETECTING APPARATUS FOR SURFACE DEFECT IMAGE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0290012(A) |
申请公布日期 |
1990.03.29 |
申请号 |
JP19880241043 |
申请日期 |
1988.09.28 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FUSHIMI SATOSHI;NAKAHATA MITSUZO;MAEDA SHUNJI;KUBOTA HITOSHI |
分类号 |
G01B11/30;G11B5/455;G11B5/60 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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