发明名称 ELECTRON-IMPACT TYPE OF ION SOURCE
摘要
申请公布号 EP0156473(B1) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 EP19850300853 申请日期 1985.02.08
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC.;WATANABE, FUMIO 发明人 WATANABE, FUMIO;HARA, YOSHIAKI;MIYAMOTO, MASAO;KUSUMOTO, YASUO;KOMAKI, SHOJIRO
分类号 G01N27/62;H01J27/08;H01J27/20;H01J37/08;H01J49/10;H01J49/14 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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