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发明名称 METHOD FOR SECONDARY TREATMENT OF DIELECTRIC THIN LAYERS
摘要
申请公布号 HU200035(B) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 HU19860004597 申请日期 1986.11.05
申请人 MTA KOEZPONTI FIZIKAI KUTATO INTEZETE,HU 发明人 PETOE,GABOR,HU;VERTESY,GABOR,HU
分类号 G02B1/12;H01L21/423;(IPC1-7):H01L21/423 主分类号 G02B1/12
代理机构 代理人
主权项
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