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发明名称 INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0286037(A) 申请公布日期 1990.03.27
申请号 JP19880236462 申请日期 1988.09.22
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 OZAKI KATSUMI;YAMAMOTO KENJI
分类号 H01J37/317;G01R31/302;H01L21/66 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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