发明名称 MANUFACTURE OF VERTICAL THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0284775(A) 申请公布日期 1990.03.26
申请号 JP19870305283 申请日期 1987.12.02
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKAYAMA AKIRA;SUDA YOSHIYUKI
分类号 H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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