发明名称 FLATNESS DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH0282108(A) 申请公布日期 1990.03.22
申请号 JP19880234322 申请日期 1988.09.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUGIYAMA MASAYUKI
分类号 G01B21/20;G01B21/30 主分类号 G01B21/20
代理机构 代理人
主权项
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