发明名称 MECHANISM FOR OPENING AND CLOSING WAFER HOLDING PART AND SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0280566(A) 申请公布日期 1990.03.20
申请号 JP19880230023 申请日期 1988.09.16
申请人 HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD 发明人 JINBO TAKESHI
分类号 C23C14/50;C23C14/56;H01L21/203 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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