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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0277145(A)
申请公布日期
1990.03.16
申请号
JP19880229175
申请日期
1988.09.13
申请人
IBIDEN CO LTD
发明人
TAKEYAMA TAKESHI;KOSAKA KATSUMI;HIROI ATSUSHI;KONDO MITSUHIRO
分类号
H01L21/60;H01L23/50
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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