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发明名称
LIQUID-PHASE EPITAXIAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0274586(A)
申请公布日期
1990.03.14
申请号
JP19880222965
申请日期
1988.09.06
申请人
NEC CORP
发明人
MURAKAMI TOMOKI
分类号
C30B19/06
主分类号
C30B19/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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