发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING AN ISOLATION STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0041776(B2) 申请公布日期 1990.03.14
申请号 EP19810302078 申请日期 1981.05.11
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 SAKURAI, JUNJI
分类号 H01L21/321;H01L21/268;H01L21/31;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/321
代理机构 代理人
主权项
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