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发明名称 PHOTOELECTRIC CONVERSION SENSOR FOR MEASURING PARTICLE SIZE DISTRIBUTION
摘要
申请公布号 EP0281077(A3) 申请公布日期 1990.03.14
申请号 EP19880103082 申请日期 1988.03.01
申请人 NAGASU, HIDEO;TOHNICHI COMPUTER APPLICATIONS CO., LTD. 发明人 HAYASHI, SHIGERU C/O SCIENCE & TECHNOLOGY AGENCY;SAITO, TAKASHI C/O SCIENCE & TECHNOLOGY AGENCY;HORIUCHI, SHOJI C/O SCIENCE & TECHNOLOGY AGENCY;TAKAHASHI, TADASHI
分类号 G01N15/02;H01L31/02;H01L31/0352;(IPC1-7):G01N15/02 主分类号 G01N15/02
代理机构 代理人
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