| 发明名称 |
MANUFACTURING APPARATUS OF ORGANIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0272666(A) |
申请公布日期 |
1990.03.12 |
| 申请号 |
JP19880223516 |
申请日期 |
1988.09.08 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NAKAYAMA TOSHIO;MIURA AKIRA |
| 分类号 |
B05C3/02;B05D1/20;C09K3/00;H01L49/02;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/40 |
主分类号 |
B05C3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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