| 发明名称 |
APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0271105(A) |
申请公布日期 |
1990.03.09 |
| 申请号 |
JP19880223009 |
申请日期 |
1988.09.06 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
HAYASHI MASAKAZU;ISHIDA FUMIHIKO;YASUNAGA TAMIYOSHI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N23/00;G01Q60/16;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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