| 发明名称 |
PRESSURE CONTROL METHOD FOR VACUUM EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0267472(A) |
申请公布日期 |
1990.03.07 |
| 申请号 |
JP19880219792 |
申请日期 |
1988.09.02 |
| 申请人 |
NIPPON SOKEN INC |
发明人 |
KIMURA MINORU;ITO MASAATSU;ASA HIROTOMO |
| 分类号 |
F04D19/04;F04B37/16;F04B49/06 |
主分类号 |
F04D19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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