发明名称 |
METALLIC SUBSTRATE FOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0265160(A) |
申请公布日期 |
1990.03.05 |
申请号 |
JP19880215270 |
申请日期 |
1988.08.31 |
申请人 |
NKK CORP |
发明人 |
KOSUGE SHIGECHIKA;KABASAWA MAKOTO;NAKADA KIYOKAZU |
分类号 |
H01L23/14;C30B29/38;H05K1/05 |
主分类号 |
H01L23/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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