发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0265135(A) 申请公布日期 1990.03.05
申请号 JP19880217184 申请日期 1988.08.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 GOTO HIROSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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