| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING YBA2CU3O7-DELTA-BASED OXIDE SUPERCONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0264012(A) |
申请公布日期 |
1990.03.05 |
| 申请号 |
JP19890096071 |
申请日期 |
1989.04.14 |
| 申请人 |
NGK SPARK PLUG CO LTD;HIRANO SHINICHI |
发明人 |
HIRANO SHINICHI |
| 分类号 |
H01L39/24;C01G1/00;C01G3/00;C04B41/87;H01B12/06;H01B13/00 |
主分类号 |
H01L39/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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