发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0258836(A) |
申请公布日期 |
1990.02.28 |
申请号 |
JP19880210303 |
申请日期 |
1988.08.24 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SAWADA KAZUYUKI;MASUDA YOJI;YAMAMOTO HIROSHI |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|