发明名称 SEMICONDUCTOR DEEP CAVITY DEVICE
摘要
申请公布号 GB8929277(D0) 申请公布日期 1990.02.28
申请号 GB19890029277 申请日期 1989.12.28
申请人 NATIONAL RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION 发明人
分类号 G01L9/00 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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