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发明名称 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR ERSTELLUNG VON TOPOGRAMMEN VON HALBLEITERPROBEN, INSBESONDERE MISCHKRISTALLHALBLEITERPROBEN
摘要
申请公布号 DD276528(A1) 申请公布日期 1990.02.28
申请号 DD19880321277 申请日期 1988.10.31
申请人 HUMBOLDT-UNIVERSITAET ZU BERLIN DIREKTORAT F. FORSCHUNG,DD 发明人 TOMM,JENS W.,DD;WERNER,LUTZ,DD
分类号 G01N21/63;(IPC1-7):G01N21/63 主分类号 G01N21/63
代理机构 代理人
主权项
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