发明名称 POSITIVE TYPE RESIST
摘要
申请公布号 JPH0258060(A) 申请公布日期 1990.02.27
申请号 JP19880208220 申请日期 1988.08.24
申请人 TOAGOSEI CHEM IND CO LTD 发明人 SATO MITSUYOSHI;FUJIMOTO YOSHIAKI;KIMURA KAORU
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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