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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0258248(A) 申请公布日期 1990.02.27
申请号 JP19880209036 申请日期 1988.08.23
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TANAKA KAZUO
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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