| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM AETZEN VON SCHEIBENFOERMIGEN GEGENSTAENDEN, INSBESONDERE VON SILIZIUMSCHEIBEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT389959(B) |
申请公布日期 |
1990.02.26 |
| 申请号 |
AT19870002958 |
申请日期 |
1987.11.09 |
| 申请人 |
SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG GESELLSCHAFT M.B.H. |
发明人 |
SUMNITSCH FRANZ |
| 分类号 |
C23F1/08;B65G49/07;C23F1/00;C23F1/46;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/683 |
主分类号 |
C23F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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