发明名称 IMPURITY DIFFUSION OF SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPH0254522(A) 申请公布日期 1990.02.23
申请号 JP19880205006 申请日期 1988.08.18
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 TSUCHIYA KAZUHIRO
分类号 H01L29/73;H01L21/265;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/732;H01L29/78 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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