发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0254939(A) 申请公布日期 1990.02.23
申请号 JP19880204723 申请日期 1988.08.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 USAGAWA TOSHIYUKI;YAMANE MASAO;KOBAYASHI MASAYOSHI;TAKAHASHI SUSUMU
分类号 H01L29/205;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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