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发明名称 JET STRUCTURE AT SURFACE PROCESSING STAGE
摘要
申请公布号 JPH0253562(A) 申请公布日期 1990.02.22
申请号 JP19880200638 申请日期 1988.08.11
申请人 CHEMICOAT & CO LTD 发明人 HONMA TADAHIRO
分类号 B24C9/00;B24C3/12;C23C22/74;C23G3/00;C23G5/00 主分类号 B24C9/00
代理机构 代理人
主权项
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