发明名称 POLYCRYSTALLINE FILM FORMATION
摘要
申请公布号 EP0308166(A3) 申请公布日期 1990.02.21
申请号 EP19880308427 申请日期 1988.09.13
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 CHIANG, ANNE;WU, I-WEI;HUANG, TIAO-YUAN
分类号 C23C14/58;H01L21/20;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C23C14/58
代理机构 代理人
主权项
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