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发明名称 SURFACE DEFECT INSPECTION INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH0252241(A) 申请公布日期 1990.02.21
申请号 JP19880203227 申请日期 1988.08.17
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUSHIMI KIMIHISA
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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