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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING FILM
摘要
申请公布号
JPH0250962(A)
申请公布日期
1990.02.20
申请号
JP19890091633
申请日期
1989.04.11
申请人
CANON INC
发明人
KOIKE ATSUSHI
分类号
C23C14/00;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/54
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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