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发明名称 PROCESS CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0250201(A) 申请公布日期 1990.02.20
申请号 JP19880200525 申请日期 1988.08.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YONEZAWA KENZO
分类号 G05B11/36 主分类号 G05B11/36
代理机构 代理人
主权项
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