发明名称 GEHAEUSE FUER EINE TURBOMOLEKULARVAKUUMPUMPE.
摘要
申请公布号 DE3668222(D1) 申请公布日期 1990.02.15
申请号 DE19863668222 申请日期 1986.01.11
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH, 5000 KOELN, DE 发明人 DETERS, DR., LUDGER, D-5000 KOELN 40, DE;KABELITZ, DR., HANS-PETER, D-5000 KOELN 90, DE;SCHUETZ, GUENTER, D-5000 KOELN 21, DE
分类号 F04B37/14;F04D19/04;F04D29/58;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04B37/14
代理机构 代理人
主权项
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