发明名称 MIST BLOWOUT NOZZLE FOR AIR FLOW VISUALIZING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0245765(A) 申请公布日期 1990.02.15
申请号 JP19880197694 申请日期 1988.08.08
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 TAKAHASHI YASUO;MATSUO TAKENOBU;SHINDO NAOKI;YAMAGUCHI TOMOZO
分类号 G01P13/00 主分类号 G01P13/00
代理机构 代理人
主权项
地址