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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR METAL OXIDATION TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH0243353(A) 申请公布日期 1990.02.13
申请号 JP19880195185 申请日期 1988.08.04
申请人 OMI TADAHIRO;OSAKA OXYGEN IND LTD 发明人 OMI TADAHIRO;SUGIYAMA KAZUHIKO;NAKAHARA FUMIO;MIZOGAMI SATOSHI
分类号 C23C8/18;C23C8/10;H01L21/31 主分类号 C23C8/18
代理机构 代理人
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